Prednosti:
Ova serija pumpi ima dobre performanse u teškim uvjetima okoliša (visoke temperature, prašina itd.), Stabilna u performansama i s dugim vijekom trajanja, te jednostavno održavanje i prikladan rad.
Prijave:
Glavne primjene su u industrijskoj detekciji curenja, PVD-u, CVD-u, ionskoj implantaciji, proizvodnji vakuumskih elektroničkih komponenti, niskoemisionom staklu, ITO staklu, optičkim premazima, solarnim ćelijama, zavarivanju elektronskim snopom, vakuumskim pećima i drugim industrijama
Specifikacije:
Prirubnica (U) | DN400 ISO-K | Plin po cijelom (sccm) | N2: 5500 |
Prirubnica (Izlaz) KF | DN100 | On: 4000 | |
Brzina pumpanja (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
On: 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Brzina rotacije (o / min) | 13500 | |
Ar : 3200 | Vrijeme zaleta (min) | ≤18 | |
Omjer kompresije | N2: 108 | Tip hlađenja, standardno | Voda |
On: 103 | Potrošnja rashladne vode (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura rashladne vode (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Priključak za napajanje: Napon (V AC) | DC24/AC220 | |
Najveći pritisak (Pa) | 6 × 10-6 | Maks. Potrošnja energije (W) | ≤1100 |
Maks. Kontinuirani pred-vakuumski pritisak (Pa) | 100 | Model kontrolera | FD-III |
Maks. Predvakuumski pritisak | N2: 300 | Težina (kg) | 130 |