Magnetno levitirana pumpa, CXF-320/3001E, vodeno hlađenje, ISO-F, na brodu
Molekularne pumpe sa magnetskom levitacijom su pumpe čije je držanje podržano magnetskom silom.
Molekularne pumpe sa magnetskom levitom serije su oprema za generisanje vakuuma koju je razvio KYKY za ispunjavanje zahtjeva za primjenu u oblastima savremene proizvodnje poluvodiča, proizvodnje čipova, industrijskog oblaganja i naučnih instrumenata.
Prednosti:
1. Nulto trenje tokom rada i niska potrošnja energije
2. Lako se nabavlja zaista čist visoki vakuum i ultravisok vakuum bez podmazivanja pumpi
3. Sposobnost dugotrajnog vađenja korozivnih plinova
4. Visoka sigurnost i dug vijek trajanja zahvaljujući zaštiti ležajeva preciznim keramičkim kuglicama
5. funkcija generiranja energije u slučaju iznenadnog isključivanja
6. Bez trenja
7. Bez zagađenja
8. Bez održavanja
9. Niske vibracije
10. instaliran u bilo kojoj orijentaciji.
Prijave:
Serije magnetski levitiranih molekularnih pumpi uglavnom se primjenjuju u poljima proizvodnje poluvodiča, proizvodnje obujmica, industrijskog oblaganja i znanstvenih instrumenata, posebno za ekstrakciju korozivnih plinova koji postoje u jezgri, CVD -u, PVD -u i ionskoj implantaciji te plinove koji se lako koaguliraju pri normalnoj temperaturi.
Specifikacije:
| Model | CXF-320/3001E |
| Brzina pumpe (l/s, vazduh) | 3200 |
| Omjer kompresije | > 1 × 108 |
| Vrhunski vakuum (Pa) | ≤5 × 10-7 |
| Ulazna prirubnica | ISO-F 320 |
| Izlazna prirubnica | KF 40 |
| Brzina rotacije (o / min) | 24000 |
| Vrijeme zaleta (min) | 12 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Potporna pumpa (L/s) | 15 |
| Montaža ili iencijacija | Bilo koji |
| Metoda hlađenja | Voda |
| Težina (kg) (sa kontrolerom) | 75 |
Tehnologije:
- Tehnologija upravljanja za magnetski ležaj: 5-osno magnetski levitirano, zasnovano na naprednoj međunarodnoj teoriji upravljanja, kako bi se zajamčile takve značajne prednosti brzog vratila kao što je stabilan levitacija i pouzdan rad.
- Tehnologija upravljanja pogonom motora: Visoko efikasan DC motor i servo upravljački sistem velike brzine, sa maksimalnom energijom motora i automatskom kompenzacijom brzine rotacije vratila, čime se ostvaruje stabilan start, pouzdan rad i automatska funkcija regulacije dinamičke energije.
- Tehnologija kompozitnog rotora od karbonskih vlakana: Napravljeno miješanjem aluminijske legure visoke čvrstoće i lakih ugljičnih vlakana. odlikuje se velikim smanjenjem težine i velikim poboljšanjem snage, tako da se postižu ciljevi velike brzine okretanja, visokih performansi i visoke pouzdanosti.
- Tehnologija otporna na koroziju: Površine dijelova u komorama obrađuju se posebnim postupkom, tako da površine mogu dugo odoljeti koroziji uzrokovanoj korozivnim plinovima u proizvodnim procesima poluvodiča. Osim toga, inertni plinovi, poput N2, potpuno su ispunjeni u vratilu pumpi kako bi se zaštitili dijelovi s niskim vakuumom u crpkama, tako da se ostvaruje funkcija dugotrajnog ispuštanja korozivnih plinova.
- Sistem za kontrolu temperature grijanja: opremljeni električnim grijačem i regulatorom temperature, rashladna voda, grijanje sa kostima na zraku, električno grijanje i toplina koju prenose zaštitni plinovi mogu se nadzirati i kontrolirati tijekom rada, temperatura u crpkama može se održavati na određenoj vrijednosti dugoročno, neka plinovito tvari se pri normalnoj temperaturi ne pretvaraju u čvrste tvari i ne talože u crpkama, a zahtjevi za poseban postupak poput jetkanja mogu biti ispunjeni.